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十萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間指:每立方米空氣中直徑大于等于0.5um的灰的數量少于10萬(wàn)個(gè)。 十萬(wàn)級是英尺的空間內允許存在的0.5微米的塵埃粒子的個(gè)數在十萬(wàn)個(gè)以?xún)取?/span>
那么,潔凈車(chē)間如何定義十萬(wàn)級、萬(wàn)級和百級呢?
按空氣中懸浮粒子來(lái)劃分潔凈室及相關(guān)受控中空凈度等級,就是以每立方氣中的至大允許粒子數來(lái)確定其空氣潔凈度等級。
1、幾級潔凈車(chē)間:指潔凈級別,可以理解為無(wú)塵室,但是無(wú)塵室也是需要換氣的,換進(jìn)去的空氣需要經(jīng)過(guò)凈化室凈化,再送到無(wú)塵室。(10萬(wàn))級要求每小時(shí)換氣15-19次,換氣后空氣凈化時(shí)間不超過(guò)40分鐘。
2、 十萬(wàn)級、萬(wàn)級和百級潔凈車(chē)間的凈化參數:
換氣次數:100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次;100≥500次.壓差:主車(chē)間對相鄰房間≥5Pa
無(wú)塵車(chē)間等級劃分
車(chē)間是指將一定空間范圍內之空氣中粒子、有害空氣、等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
無(wú)塵車(chē)間主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱(chēng)之為無(wú)塵車(chē)間。
無(wú)塵車(chē)間等級劃分:1級≥百級級≥千級級≥萬(wàn)級≥十萬(wàn)級≥百|(zhì)萬(wàn)級
越排在前面,級別越高,1級是級別高的。常見(jiàn)的是百級到十萬(wàn)級。
1級 這個(gè)級別的無(wú)塵車(chē)間主要用于制造集成電路的微電子工 業(yè),對集成電路的精確要求為亞微米。
10級 這個(gè)級別的無(wú)塵車(chē)間主要用于帶寬小于2微米的半導體工業(yè)。
100級很多人認為,這1級無(wú)塵車(chē)間是常用因而是重要的無(wú)塵車(chē)間,這一潔凈室大量應用于,植如體內物品的制造,外科手術(shù),包括移植手術(shù),集成器的制造,那些對細jun感染特別敏感的病人的隔離治liao。
1000級這個(gè)級別的無(wú)塵車(chē)間主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn),還用于測試,裝配飛機蛇螺儀,裝配高質(zhì)微型軸承等。
10000級萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間用于液壓設備或氣壓設備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業(yè),此外,萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間在醫工業(yè)中也很常用。
100000級十萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間用于很多的工業(yè)部門(mén),比如光學(xué)產(chǎn)品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統,液壓或氣壓系統的制造,食品飲料的生產(chǎn),醫、藥工業(yè)也常常使用這1級無(wú)塵車(chē)間。
也就是說(shuō)值越小,凈化級別就越高。潔凈度越高造價(jià)就越高。
無(wú)塵車(chē)間的凈化潔凈度根據生產(chǎn)工藝要求,合適就好。
一、十萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間作業(yè)環(huán)境規定:
落塵量檢查每三個(gè)月委外檢查并附檢查效果至公司處理部存檔。
十萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間對溫度、濕度無(wú)特殊要求時(shí),以穿著(zhù)潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜,溫度一般控制在冬季一般為20~22℃、夏季一般為24~26℃、波動(dòng)±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30-50%。作業(yè)員上下班前分鐘將各自工位環(huán)境進(jìn)行清潔處理(含加班時(shí)間),由主管級人員不定期審核確認。
二、十萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間室內空氣參數要求:
溫濕度要求:溫度一般為24 2 ℃ ,相對濕度為55 5%。
新風(fēng)量大。由于十萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間內,人員比較多,可以根據以下數值應取下列的大值:非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30%。補償室內排風(fēng)和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量。保證室內每人每小時(shí)的新鮮空氣量≥40m3 /h。
送風(fēng)量大。為了滿(mǎn)足無(wú)塵車(chē)間內的潔凈度及熱濕平衡,需要較大的送風(fēng)量,就300平方米的車(chē)間,吊頂高度為2.5米的,如果是十萬(wàn)級,送風(fēng)量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風(fēng)量(換氣次數,是≥15次/h)。
三、十萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間的日常維護:
1、每周塵潔凈車(chē)間的照明、應具、超凈臺、風(fēng)淋室、消du器等設備進(jìn)行檢發(fā)現問(wèn)題及時(shí)報修并做記錄。
2、每月對無(wú)塵潔凈車(chē)間的外圍、包括門(mén)窗、輔助用房?jì)鹊臒艟?、風(fēng)幕機、滅蠅燈、驅鼠設施進(jìn)行檢查,發(fā)現問(wèn)題,及時(shí)報修并做好記錄。
3、每月對無(wú)塵潔凈車(chē)間技術(shù)夾層、彩鋼板結構、密封門(mén)、窗和傳遞窗、水池、地面環(huán)氧層等進(jìn)行檢查,發(fā)現滲漏脫膠、門(mén)窗變型漏風(fēng)、地面破損等情況及時(shí)報修并做記錄.對無(wú)法停止使用的設施,安排在停產(chǎn)大修期間維護。
4、無(wú)塵潔凈車(chē)間內的消防及監控系統,每月例行檢查,發(fā)現問(wèn)題及時(shí)報修并做記錄(未經(jīng)質(zhì)管部門(mén)批準,不得隨意開(kāi)啟安全門(mén))。
5、無(wú)塵潔凈車(chē)間內的維修保養不得動(dòng)用明火。維修過(guò)程中不得對廠(chǎng)房及藥品造成污染。
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